Exhibition工程展示

电子工业厂房
详细介绍

电子工业无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

ISO_14644洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级

ISO等级序(N)

大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值(pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算)

0.1μm

0.2μm

0.3μm

0.5μm

1μm

5μm

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注:由于涉及测量过程的不确定性,帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。

 

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